台積電發展工業廢水再生技術 南科工程明年啟動

摘錄自2020年3月31日中央社報導

台積電積極發展工業廢水再生技術,預計於民國110年啟動南科園區工業廢水再生工程,導入工業再生水做為晶圓製程用水,至112年每天將達2萬噸再生水。

為拓展多元水資源,台積電104年起積極發展再生水技術,成功降低廠內廢水水質相關因子,目前自產所得的再生水,不只達到半導體製程用水標準,排放水質也符合法規放流規定。

台積電今年進一步與南部科學園區管理局簽約,促建「台積電南科再生水廠」,預計明年啟動園區工業廢水再生工程,導入工業再生水做為台積電晶圓製程用水。台積電指出,初期規劃每天可供給再生水約0.5萬噸,112年每天則將增加至2萬噸再生水。

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